技術應用

1.功率半導體

絕緣閘雙極電晶體(IGBT)&晶圓背面研磨和金屬鍍膜製程(BGBM)

 
2.晶背蝕刻/消除應力


3.MEMS微機電/DRY FILM


4.III-V與II-VI族化合物半導體


5.金屬層剝離/光阻去除


6.先進封裝

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